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Moorfield近推出了台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD,高度集成化的高真空高性能台式PVD系统。越、高效的性能适用于众多薄膜的研究工作。
Moorfield与学术界紧密合作研发的台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列可以用来快速生产高质量的石墨烯用于学术和应用研究。
日本ADVANCE RIKO公司致力于电弧等离子体沉积系统(APD)用脉冲电弧放电将电导材料离子化,产生高能离子并沉积在基底上,制备纳米薄膜镀层或纳米颗粒。
脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统(NEW)等由美国BlueWave生产,可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2D材料。Blue Wave还提供电子束蒸发、热蒸发、反应溅射、热丝化学气相沉积(HFCVD)、热化学气相沉积系统(TCVD)等设备。
薄膜材料的真空、等离子制备、处理技术现已被广泛应用于半导体、光电、太阳能等域的研发以及成产当中,这些技术包括: 等离子体增强化学气相沉积反应器(PECVD Reactors) 脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition) 磁控溅射系统(Sputter Deposition System) 电子束沉积系统(E-beam Deposition System)