SEM-CL时间分辨精细阴荧光分析系统是由瑞士attolight公司设计并制造的，它是： •上*实现定量测量的阴荧光分析系统 SEM-CL • 300um直径的视场 • 于10nm的空间分辨率 • 10ps的时间分辨率 • Schottky场发射枪（连续系统）和皮秒脉冲光电枪（时间分辨模式） • 样品温度范围：20K-300K，位移精度1nm