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德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的皮米精度激光干涉仪IDS3010。与FPS型号干涉仪相似,IDS型号同样适用于恶劣环境如高真空与高辐射环境并且具有*精度与*采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。
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