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CPX-VF低温超导磁体探针台

产品简介

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。

产品型号:
更新时间:2024-04-18
厂商性质:生产厂家
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Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。


CPX-VF在直径达51mm(2英寸)的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。


CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷(使用超导磁体时必须使用液氦),其操作温度范围为4.2 K到400 K,使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。


主要特征:

 

√  温度范围4.3 K~400 K

√  可选低温1.9 K

√  垂直磁场±2.5 T

√  最大2英寸(51 mm)样品

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm可选

√  90°探针样品测量

√  霍尔效应测试选件

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境


设备参数:


磁场
磁体类型超导螺线管
磁场方向垂直方向(垂直于样品面)
磁场控制电流控制
磁场大小最大±25 KOe(±2.5 T)
磁场均匀性0.5% 10 mm直径;1% 25 mm直径
探针针尖移动<5μm 整个磁场范围内
温度范围
最多配置6个探针臂基础温度4.3 K,温度控制范围4.4 K ~ 400 K
安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K,温度控制范围2 K ~ 400 K
温度稳定性液氦
基础温度 (无加热控制)±15 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK
101 K ~ 250 K±15 mK
251 K ~ 350 K±15 mK
351 K ~ 400 K±50 mK
真空以TPS-FRG分子泵为标准PS-HV-CPX选件
抽真空时间30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
室温<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基础温度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高温度<5 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循环时间
总循环4 h
抽真空0.5 h
探针台冷却2 h
探针台升温1.5 h
样品
最大尺寸51 mm(2英寸)
样品背光接口不可选
样品旋转±5°样品面内旋转
样品振动<300 nm(标准),<30 nm(配置减震选件PS-PVIS)
探针配置
最大探针数6
探针臂温度计用于监视探针臂的温度
冷却探针支架<20 K(样品在基础温度下)
探针支架连接磁体防辐射屏热沉
探针臂支架连接防辐射屏热沉
DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针频率范围从DC到67GHz
光纤探针可用于电光测量
落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针


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