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产品简介
Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。
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Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。
CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。
CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。
主要特征：
√ 温度范围4.3 K~400 K
√ 可选低温1.9 K
√ 垂直磁场±2.5 T
√ 最大2英寸（51 mm）样品
√ 样品可面内±5°旋转
√ 样品振动＜30 nm可选
√ 90°探针样品测量
√ 霍尔效应测试选件
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
设备参数：
| 磁场 | ||
| 磁体类型 | 超导螺线管 | |
| 磁场方向 | 垂直方向（垂直于样品面） | |
| 磁场控制 | 电流控制 | |
| 磁场大小 | 最大±25 KOe(±2.5 T) | |
| 磁场均匀性 | 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 | |
| 探针针尖移动 | <5μm 整个磁场范围内 | |
| 温度范围 | ||
| 最多配置6个探针臂 | 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K | |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K | |
| 温度稳定性 | 液氦 | |
| 基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | |
| 101 K ~ 250 K | ±15 mK | |
| 251 K ~ 350 K | ±15 mK | |
| 351 K ~ 400 K | ±50 mK | |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 | PS-HV-CPX选件 |
| 抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 最高温度 | <5 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 4 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探针台冷却 | 2 h | |
| 探针台升温 | 1.5 h | |
| 样品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | ±5°样品面内旋转 | |
| 样品振动 | ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） | |
| 探针配置 | ||
| 最大探针数 | 6 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接磁体防辐射屏热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
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