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产品简介
Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。
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Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。
为了最大限度地提高样品磁场，EMPX-H2的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。
主要特征：
√ 温度范围4.5 K~400 K
√ 可选低温3.2 K
√ 水平磁场±0.6 T
√ 最大1英寸（25.4 mm）样品
√ 无需系统降温即可施加磁场
√ 样品360°旋转磁各向异性测试
设备参数：
| 磁场 | ||
| 磁体类型 | 电磁铁 | |
| 磁场方向 | 水平方向（平行于样品面） | |
| 磁场控制 | 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 | |
| 磁场大小 | 最大±6 kOe (±0.6 T) | |
| 磁场均匀性 | 0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径 | |
| 探针针尖移动 | <5 μm 整个磁场范围内 | |
| 温度范围 | ||
| 最多安装4个探针臂 | 基础温度4.5 K，控制温度范围5 K~400 K | |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度3.2 K，控制温度范围3.3 K~400 K | |
| 温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基础温度 (无加热控制) | ±20 mK | ±50 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 251 K ~ 400 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 | |
| 抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | |
| 室温 | <5 × 10-4 Torr | |
| 基础温度 | <1 × 10-5 Torr | |
| 最高温度 | <5 × 10-3 Torr | |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 3 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探针台冷却 | 1.25 h | |
| 探针台升温 | 1.25 h | |
| 样品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX) | |
| 样品振动 | ＜300 nm 标准 | |
| 探针配置 | ||
| 最大探针数 | 4 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接样品台热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
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