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CPX多功能低温探针台

CPX多功能低温探针台

简要描述:CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。

产品型号:

所属分类:探针台

更新时间:2024-01-23

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌Lake Shore

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层,以实现优异的低温性能,其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。

 

由于采用了分流设计,样品可在防辐射屏冷却时保持温度,与高真空选件,最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝,这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外,CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm(2英寸)的晶圆(最多102 mm[4英寸]可选)。该系统使用液氦或液氮运行。


主要特征:

 

√  温度范围4.3 K~475 K

√  可选低温1.9 K/1.6 K

√  标准2英寸(51 mm)样品,4英寸(102 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm可选

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境

√  环形磁体选件最大0.19T


设备参数:


温度范围
最多安装6个探针臂基础温度4.3 K,控制范围4.4 K ~ 475 K
安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K,控制范围2 K ~ 475 K
安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K,控制范围1.65 K ~ 400 K
安装PS-LL-CPX选件(Load Lock)基础温度10 K,控制范围10 K ~ 400 K
温度稳定性液氦液氮
基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK
<10 K±50 mK
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件
抽真空时间30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
室温<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基础温度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高温度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循环时间
总循环3 h
抽真空0.5 h
探针台冷却1.25 h
探针台升温2 h
Load Lock样品更换时间1小时(配有PS-LL-CPX选件)
样品
最大尺寸51 mm(2英寸)标准
25.4 mm(1英寸)安装PS-VLT-CPX高真空选件
25.4 mm(1英寸)安装PS-LL-CPX  Load Lock选件
样品背光接口不可选
样品旋转±5°面内旋转
样品振动<300 nm标准,<30 nm配有PS-PVIS减震选件
探针配置
最大探针数6
探针臂温度计用于监视探针臂的温度
冷却探针支架<20 K(样品在基础温度下)
探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉
探针臂支架连接防辐射屏热沉
DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针频率范围从DC到67GHz
光纤探针可用于电光测量
落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针





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