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FWPX四英寸低温探针台

FWPX四英寸低温探针台

简要描述:Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计,它可以容纳直径高达102 mm(4英寸)的晶圆片,并可定制容纳更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圆。

产品型号:

所属分类:探针台

更新时间:2024-01-22

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌Lake Shore

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计,它可以容纳直径高达102 mm(4英寸)的晶圆片,并可定制容纳更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计,同样可以有效的测量有机材料。

 

FWPX探针台采用了连续流制冷系统,使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K,使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。


FWPX探针台可进行I-V,C-V 和微波等标准测量。


FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂,经过优化设计后可用于电光测试。


主要特征:

 

√  温度范围4.5 K~475 K

√  可选低温3.5 K

√  样品快速测量

√  标准4英寸(102 mm)样品,6英寸(152 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm


设备参数:


温度范围
最多安装6个探针臂基础温度4.5 K,控制范围5 K ~ 475 K
安装PS-LT低温选件基础温度3.5 K,控制范围4 K ~ 475 K
温度稳定性液氦液氮
基础温度 (无加热控制)±20 mK±20 mK
<10 K±50 mK —
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±20 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±20 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵组为标准
抽真空时间30 min (<1 × 10-3 Torr)
室温下<5 × 10-4 Torr
基础温度下<1 × 10-5 Torr
最高温度下<5 × 10-3 Torr
循环时间
总循环3.5 h
抽真空0.5 h
探针台冷却1.5 h
探针台升温1.5 h
样品
最大尺寸102 mm(4英寸)标准
样品背光接口不可选
样品旋转±5°面内旋转
样品平移在x轴和y轴上平移,用于整个102 mm的晶圆片探测
样品振动<30 nm标准
探针配置
最大探针数6
探针臂温度计用于监视探针臂的温度
冷却探针支架<30 K(样品在基础温度下)
探针支架连接样品台热沉
探针臂支架连接防辐射屏热沉
DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针频率范围从DC到67GHz
光纤探针可用于电光测量
落针范围所有探针均可在直径为51毫米(2 英寸)的圆内落针





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