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产品简介
Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。
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Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。
CRX-VF可在10 K至500 K的温度范围内工作，它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。该系统为寻求兼顾无液氦操作的便利性和Lake Shore产品可靠的测量性能的用户提供了完整的解决方案。
主要特征：
√ 温度范围10 K~500 K
√ 垂直磁场±2.5 T，可定制3T以上磁场
√ 最大2英寸（51 mm）样品
√ 90°探针样品测量
√ 霍尔效应测试选件
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
设备参数：
| 磁场 | ||
| 磁体类型 | 超导螺线管 | |
| 磁场方向 | 垂直方向（垂直于样品面） | |
| 磁场控制 | 电流控制 | |
| 磁场大小 | 最大±25 KOe(±2.5 T) | |
| 磁场均匀性 | 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 | |
| 探针针尖移动 | <5 μm 整个磁场范围内 | |
| 温度范围 | ||
| ±2.5 T | 温度10 K | |
| ±2 T | 温度范围11 K ~ 400 K | |
| ±1 T | 温度范围401 K ~ 500 K | |
| 以上温度范围在最大安装6个探针臂情况下有效 | ||
| 温度稳定性 | ||
| 基础温度 (无加热控制) | 未说明 | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 500 K | ±10 mK | |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 | PS-HV-CPX高真空选件 |
| 抽真空时间 | 90 min (<1 × 10-3 Torr) | 30 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室温下 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基础温度下 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 最高温度下 | <5 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 8.5 h | |
| 抽真空 | 1.5 h | |
| 探针台冷却 | 5 h | |
| 探针台升温 | 2 h | |
| 样品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | 不可选 | |
| 样品振动 | ＜1 μm | |
| 探针配置 | ||
| 最大探针数 | 6 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜50 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
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