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CRX-6.5K无液氦低温探针台

产品简介

CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性,为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。

产品型号:
更新时间:2024-04-18
厂商性质:生产厂家
访问量:335
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CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性,为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。它的多功能性和经济性使CRX-6.5K成为世界各地许多研究人员的首丶选工具。

 

I-V、C-V和微波测量在CRX-6.5K上是标准的。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

 

CRX-6.5K可在8 K至350 K的温度范围内工作,并可选择扩展20 K至675 K的高温范围。该系统可容纳直径高达51 mm(2 in)的完整晶圆片和部分晶圆片。探针、测试电缆、样品座和选件的广泛选择使其能够满足多种特定的测量应用。


设备参数:


温度范围
安装2个探针臂基础温度8 K,控制范围8.5 K ~   350 K
安装4个探针臂基础温度9 K,控制范围9.5 K   ~   350 K
安装6个探针臂基础温度10 K,控制范围10.5 K ~   350 K
安装PS-HTSTAGE选件(与样品背面偏压不兼容)基础温度20 K,控制范围20 K   ~   675 K
温度稳定性
基础温度 (无加热控制)未说明
<10 K±25 mK
11 K ~ 350 K±10 mK
351 K ~ 675 K±50 mK
真空
室温<5×10-4 Torr
基础温度<1×10-5 Torr
最高温度<5×10-5 Torr
循环时间
总循环6.25 h
抽真空0.5 h
探针台冷却3.5 h
探针台升温2.25 h
样品
最大尺寸51 mm(2英寸)
样品背光接口不可选
样品旋转不可选
样品振动<2 μm
探针配置
最大探针数6
探针臂温度计用于监视探针臂的温度
冷却探针支架<20 K(样品在基础温度下)
探针支架连接样品台热沉
探针臂支架连接防辐射屏热沉
DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针频率范围从DC到67GHz
光纤探针可用于电光测量
落针范围所有探针均可在直径为25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针



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