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多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEM

多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEM

简要描述:多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控溅射喷金仪。

产品型号: nanoEM

所属分类:薄膜、颗粒、胶体等制备

更新时间:2020-06-30

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌其他品牌样品台尺寸可安装两个2英寸溅射源mm
控制方式全自动,引导式触屏控制价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,能源,电子,电气,综合

多功能高磁控溅射喷金仪—nanoEM

 

    nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种样品台,满足各种高精度的喷金或电生长需求。除了溅射金属电外,nanoEM还具有大的拓展空间,虽然作为台式设备,nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源,系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求,可升成为台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。

主要点:

◎  能够达到学术研究的多功能喷金仪

◎  SEM托、TEM网、普通样品多种样品台可选

◎  可安装两个2英寸溅射源

◎  通用的溅射靶材

◎  本底真空<5×10-7 mbar

◎  流量计精确控制生长气氛

◎  可调式DC溅射源,输出功率可达300W

◎  全自动,引导式触屏控制

◎  完备的安全性设计

◎  易于维护

◎  兼容超净室

◎  稳定的性能表现

 

系统选件:

◎  腔体视窗

◎  真空泵型号可选

◎  气压全自动控制系统

◎  溅射源挡板

◎  等离子体辉光电

◎  样品台旋转与倾斜

◎  晶振膜厚监测系统

 

 

 



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