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全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针

全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针

简要描述:SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂,在AFM、纳米、力测量等传感应用域都有全新的应用。全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针安装了个全压电电阻式的惠斯通电桥,两个可变电阻在悬臂上,两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号,从而避免了光学技术对空间要求。

产品型号:

所属分类:电镜

更新时间:2018-03-16

厂商性质:生产厂家

详情介绍
供货周期一周

全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针 

    

——从此形貌探测无需激光

 

 

 

    SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂,在AFM、纳米、力测量等传感应用域都有全新的应用。我们的多学科团队由物理、商业和金融、半导体和微电子学、电子工程和生物科学等域的家组成。除了我们自己的团队之外,我们还与著名高校:University of Tampere (UTA),école  Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 许多的研究团队合作,密切接触前沿研究和开发。  

   自感应悬臂探针安装了个全压电电阻式的惠斯通电桥,两个可变电阻在悬臂上,两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号,从而避免了光学技术对空间要求。这种悬臂式芯片被连接在个小的PCB上,带有个小的连接器,用于快速和高度可重复的悬臂交换。传感器信号是通过个小型的前置放大器PCB来读出和放大的。这使得与各种仪器,如SEM,TEM和许多其他测量系统的简单无缝集成。这种自感的悬臂可以满足各种共振频率和弹性系数的要求。 

   SCL提供了PRS(Piezo-Resistive  Sensing)不可加热的悬臂AFM探针和PRSA(Piezo-Resistive Sensing &  Active)可加热的悬臂AFM探针。我们建议用塑料镊子更换裸悬臂AFM探针,用钢镊子来更换固定在PCB板上的悬臂AFM探针。

 

常规自感应悬臂梁探针(针尖材质Si) Self-Sensing Cantilevers  with Silicon Tip 

 

    左图展示的是标准的SCL自感应悬臂探针的*,*半径小于15纳米。正常情况下,悬臂探针会预安装制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下侧有个10pin的连接器。如果有殊要求,我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本,可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing &  Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive  Sensing) 

 

型号列表: 

 

PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP    

    我们可以提供两中定频率范围内使用的探针(中频为50 kHz或80  kHz),频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时(PRSA-L300-CHP)时,使用的频率范围是未知的,因为这些参数不能在没有电触点的情况下测量。 

 

共同点Common  
针尖锐度Silicon tip radius  (rtip)< 15  nm
长宽Cantilever length, width  (l/w)l = 305  μm, w = 110 μm
灵敏度Sensitivity (s)1-2  μV/nm
应用ApplicationsAFM,  纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.
PRSA-L300-F50-Si-PCB 
共振频率Resonant frequency  (fR)fR = 30~65 kHz
刚度Stiffness (k)k = 1~15  N/m
PRSA-L300-F80-Si-PCB 
共振频率Resonant frequency  (fR)65...95  kHz
刚度Stiffness (k)15...56  N/m

 

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP 

 

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP

 
针尖锐度Silicon tip radius (rtip)< 15  nm
长宽Cantilever length, width  (l/w)l = 70...85 μm, w = 30  μm
灵敏度Sensitivity  (s)3  μV/nm
应用ApplicationsAFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.
共振频率Resonant frequency  (fR)500...1300  kHz
刚度Stiffness  (k)35...400 N/m 

 

自感应悬臂梁(不含针)Self-Sensing Cantilever without Tip  (Tipless)

 

   这是种殊类型的SCL的自感应悬臂,没有探针针尖,可将自己设计制造的针尖粘在其上或者直接粘上样品,满足个性化的需求。这种无探针的悬臂尤其适用于扭矩磁力仪、力感测力、气体性测量,以及更多的应用。正常情况下,悬臂探针会预安装制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下侧有个10pin的连接器。如果有殊要求,我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本,可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing &  Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive  Sensing) 

 

型号列表: 

 

PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP     

    我们可以提供两中定频率范围内使用的探针(中频为50 kHz或80 kHz),频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时(PRSA-L300-CHP)时,使用的频率范围是未知的,因为这些参数无法在没有电触点的情况下测量。 

 

共同点Common  
长宽Cantilever length, width  (l/w)l = 300 μm, w = 110
灵敏度Sensitivity (s)1-2  μV/nm
应用Applications扭矩磁力仪,力感应,气体性,殊针尖的安装
PRSA-L300-F50-TL-PCB 
共振频率Resonant frequency  (fR)fR = 30~65 kHz
刚度Stiffness (k)k = 1~15  N/m
PRSA-L300-F80-TL-PCB 
共振频率Resonant frequency  (fR)65...95  kHz
刚度Stiffness (k)15...56  N/m

 

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP 

 

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP

 
长宽Cantilever length, width  (l/w)l = 100 μm, w = 48  μm
灵敏度Sensitivity  (s)1...3  μV/nm
应用Applications扭矩磁力仪,力感应,气体性,殊针尖的安装
共振频率Resonant frequency  (fR)fR = 250...550  kHz
刚度Stiffness  (k)k = 14...170  N/m 

 

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP

 

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP

 
长宽Cantilever length, width  (l/w)l = 450 μm, w = 100  μm
灵敏度Sensitivity  (s)1...2  μV/nm
应用Applications扭矩磁力仪,力感应,气体性,殊针尖的安装
共振频率Resonant frequency  (fR)fR = 14...48  kHz
刚度Stiffness  (k)k = 0.5...24 N/m 

 

自感应基础套件(DYI*) Self-Sensing  Starter-Kit

 

    自感悬臂探针的每个应用中没有激光扰度探测,无法直接用于普通AFM设备里,需要我们提供的自感应基础套件。该基础套件为您提供了所有基本但必要的配置,可以立即开始使用自感应悬臂(探针)。自感应基础套件包含以下内容:  

    ►  低噪声悬臂信号前置放大器(下图-2) 

    ►  连接前置放大器到悬臂和后加工设备(锁定放大器,AFM控制器等)的电缆。(1 +  3)

    ►  10个自我感觉的悬臂(4)



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