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小型台式无掩膜光刻系统

小型台式无掩膜光刻系统

简要描述:Microwriter ML3小型台式无掩膜光刻系统,具有结构小巧紧凑(70cm X 70cm X 70cm),无掩膜直写系统的灵活性,还拥有高直写速度,高分辨率的点。采用集成化设计,全自动控制,可靠性高,操作简便。适用于各种实验室桌面。

产品型号: Microwriter ML3

所属分类:纳米直写、光刻设备

更新时间:2019-05-10

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌其他品牌产地类别进口

 

小型台式无掩膜光刻系统 

 

    小型台式无掩膜光刻系统Microwriter ML3是英国Durham Magneto Optics公司为实验室设计开发,为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究域提供方便高效的微加工方案。

    传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜板需要由业供应商提供,但是在研发环境中,掩膜板的设计通常需要经常改变。无掩膜光刻技术通过以软件设计电子掩膜板 的方法,克服了这问题。与通过物理掩膜板进行光照的传统工艺不同,激光直写是通过电脑控制系列激光脉冲的开关,在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。

ML3.jpg

    Microwriter ML3 是款多功能激光直写光刻系统,具有结构小巧紧凑(70cm X 70cm X 70cm),无掩膜直写系统的灵活性,还拥有高直写速度,高分辨率的点。采用集成化设计,全自动控制,可靠性高,操作简便。适用于各种实验室桌面。

 

产品点  

Focus Lock自动对焦功能 
Focus Lock技术是用自动对焦功能对样品表面高度进行探测,并通过Z向调整和补偿,以保证曝光分辨率。
光学轮廓仪 
Microwriter ML3 配备光学轮廓探测工具,用于匀胶后沉积层,蚀刻层,MEMS等前道结构的形貌探测与套刻。Z向高精度100 nm,方便快捷。

focuslock.png

Profiometer.png

标记物自动识别
点击“Bulls-Eye”按钮,系统自动在显微镜图像中识别光刻标记。标记物被识别后,将自动将其移动到显微镜中心位置。
直写前预检查
软件可以实时显微观测基体表面,并显示预直写图形位置。通过实时调整位置、角度,直到设计图形按要求与已有结构重合,保证直写准确。

Bullseye.png

VMA.png

简单的直写软件

MicroWriter 由个简单直观的Windows界面软件控制。工具栏会引导使用者进行简单的布局设计、基片对准和曝光的基本操作。该软件在Windows10系统下运行。

Clewin 掩模图形设计软件 

可以读取多种图形设计文件(DXF, CIF, GDSII, 等)

可以直接读取TIFF, BMP 等图片格式

书写范围只由基片尺寸决定

software.png

 clewin.jpg

 

产品参数 

Microwriter ML3基本型增强型旗舰型
 大样品尺寸155×155×7mm155×155×7mm230×230×15mm
 大直写面积149mm x 149mm149mm x 149mm195mm x 195mm
 曝光光源405 nm LED 1.5W405 nm LED 1.5W385 nm LED 适用于SU-8 
(365+405nm双光源可选)
 直写分辨率1μm1μm and 5 μm0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm
 直写速度20mm2/min @ 1μm20mm2/min @ 1μm
120mm2/min @ 5μm
25mm2/min @ 0.6μm
50mm2/min @ 1μm
100mm2/min @ 2μm
180mm2/min @ 5μm
 对准显微镜镜头x10x3 and x10 自动切换x3, x5, x10, x20 自动切换
 多层套刻精度±1μm±1μm±0.5μm
 小栅格精度200nm200nm100nm
 样品台小步长100nm100nm50nm
 光学轮廓Z分辨率无(可升)300nm100nm
 样品表面自动对焦
 灰度直写(255)
 自动晶片检查工具无(可升)
 温控样品腔室无 (可升)无 (可升)
 虚拟模板校准工具无(可升)无(可升)
 气动减震光学平台无(可升)无(可升)

 

应用案例

 

直写分辨率1μm

resolution1.png

 

直写分辨率0.6μm

resolution0_6.png

 

微电制备 

光刻胶上的图形  Au电 (SEM) Au电(SEM) 
microelectrode1.jpgmicroelectrode2.jpgmicroelectrode3.jpg
设计图 光刻胶上的图形   放大图的显微结构
microelectrode2-design2.jpgmicroelectrode2-1.jpgmicroelectrode2-2.jpg

 

微结构制备

microstructure1.jpgmicrostructure2.jpg
microstructure2-1.jpgmicrostructure2-2.jpg

 

微流通道制备 

microfluid1.jpgmicrofluid2.jpg

 

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