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3D纳米结构高速直写机在复旦大学成功安装

发布时间: 2018-11-27  点击次数: 396次

2018年10月,Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar在复旦大学张远波教授课题组成功安装。张远波教授是二维材料研究域的学者,由于很多二维材料都对空气中的氧气和水蒸气很敏感,所以整个制备过程需要在手套箱惰性气氛保护下完成制备,这样做既可以保护样品,又可以减少不必要的转移工序。有鉴于此,Swisslitho公司提供了整套的手套箱集成方案,实现原位表面结构刻蚀和实时形貌表征,的契合了张远波教授的要求。
 

图1:完成安装及调试后手套箱中的3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar设备

 

整个安装过程非常顺,在3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar完成安装的当周内,YU Yijun博士用该设备探测表面覆盖超过300nm光刻胶的三层堆叠石墨烯,并在其上完成电图形的书写。去胶之后的电学测量结果显示其已经表现为个功能性器件。
NanoFrazor3D纳米结构高速直写机的加工过程具有直接性、低损伤和高速等点,这些都对张教授的研究具有大的帮助。我们期待未来能够与课题组进步紧密沟通合作,共同完成高速直写实验,不断增强微纳制备流程的性。

 

 

图2: (a) 手套箱中完成安装的NanoFrazor Scholar设备。
人员介绍(从左到右):Simon Bonanni博士,DENG Yujun,YU Yijun博士。
(b) 由NanoFrazor Scholar探测获得的光刻胶层下的石墨烯片层形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接书写并去胶剥离后的石墨烯片层上电结构形貌。
(d) 石墨烯电结构的电学测量结果。

 

客户反馈:

“我们用NanoFrazor Scholar来实现在手套箱内对精巧的二维材料表面制备电。NanoFrazor可以定位二维材料,并且可以实时快速反馈整个刻蚀过程,这些功能对我们来说是非常重要的,我们可以用NanoFrazor快捷地完成高质量实验器件的制备。”

复旦大学张远波教授

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