3D纳米直写的又作品 | nano-Dog突破纳米加工尺寸限

    近期，瑞士swisslitho公司用3d纳米高速直写设备完成了 nano-Dog 贺卡的制作，尺寸仅有9.2μmx 5.5μm，Z轴精度1nm，突破了纳米加工尺寸的限，是目前精度zui高的纳米贺卡。

    喜气洋洋的旺旺狗，体现了这款设备的纳米直写能力（高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)），同时高直写速度，无需显影，无临近效应，无电子/离子损伤等点逐渐受到科研工作者的青睐。2017推出的小面积直写系统NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的样品台，桌面配置，大方便了实验室科研人员的研究工作。

    普通的AFM针尖可无法满足上述直写流程的需求，为此IBM门研发并设计了热扫描探针。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热到1000℃。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1nm。

    在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度，同时保证了3D直写的高精度。

    NanoFrazor与传统的微纳加工设备如纳米醮印，激光直写，聚焦离子束刻蚀FIB，电子束诱导沉积，电子束光刻EBL等技术相比，具有高精度3D纳米结构直写，具备实时形貌探测的闭环刻写技术以及无需标记拼接与套刻等*技术势。加上其性价比高，使用和维护成本低，易操作等点，成为广受关注的纳米加工设备。