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3D纳米直写的又作品 | nano-Dog突破纳米加工尺寸限

发布时间: 2018-03-09  点击次数: 573次

    近期,瑞士swisslitho公司用3d纳米高速直写设备完成了 nano-Dog 贺卡的制作,尺寸仅有9.2μmx 5.5μm,Z轴精度1nm,突破了纳米加工尺寸的限,是目前精度zui高的纳米贺卡。

    喜气洋洋的旺旺狗,体现了这款设备的纳米直写能力(高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)),同时高直写速度,无需显影,无临近效应,无电子/离子损伤等点逐渐受到科研工作者的青睐。2017推出的小面积直写系统NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的样品台,桌面配置,大方便了实验室科研人员的研究工作。

    普通的AFM针尖可无法满足上述直写流程的需求,为此IBM门研发并设计了热扫描探针。该针尖具有两个电阻加热区域,针尖上方的加热区域可以加热到1000℃。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处,其能感知针尖与样品距离的变化,精度高达0.1nm。

    在每行直写进程结束后的回扫结构时,并不是通过针尖起伏反馈形貌信息,而是通过热导率传感器感应形貌变化,从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度,同时保证了3D直写的高精度。

    NanoFrazor与传统的微纳加工设备如纳米醮印,激光直写,聚焦离子束刻蚀FIB,电子束诱导沉积,电子束光刻EBL等技术相比,具有高精度3D纳米结构直写,具备实时形貌探测的闭环刻写技术以及无需标记拼接与套刻等*技术势。加上其性价比高,使用和维护成本低,易操作等点,成为广受关注的纳米加工设备。

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